仪器简介:
扫描电子显微镜具有超高分辨率,可应用于各种固态样品表面形貌的二次电子像、反射电子象观察及图像处理。配备高性能X射线能谱仪,能同时进行样品表层的微区点线面元素的定性、半定量及定量分析。放大倍数可达几十万倍,分辨率可达纳米级别,是形貌和成分分析领域极其重要的一种工具。
仪器主要参数指标:
放大倍数:20~2000000倍;分辨率:0.8nm;
发射电压:200V至30KV;着陆电压:20V至30KV;
电子束流:1pA~50nA;
样品室内径:340mm,分析工作距离10mm;
能谱元素分析范围:Be4-U92。
可做测试项目:
形貌、点扫EDS、线扫EDS、背散BSE、能谱面扫(mapping);可镀金,非磁、弱磁样品均可拍摄。