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刘老师：15363050875
简介：
椭偏仪是一种用于探测薄膜厚度、光学常数以及材料微结构的光学测量仪器。由于测量精度高，适用于超薄膜，与样品非接触，对样品没有破坏且不需要真空，使得椭偏仪成为一种极具吸引力的测量仪器。
应用：
在半导体、微电子、MEMS、通讯、数据存储、光学镀膜、平板显示器、科学研究、物理、化学、生物、医药等领域都有应用。
可测试项目：
光谱测试范围370到1000nm，可得到膜厚（范围是0.5nm-10um）、波长-折射率曲线、波长-消光系数曲线等。
1、 样品状态一般为薄膜。
2、 如果有基底的膜层结构要做折射率和消光系数，基地厚度要求越厚越好，膜层厚度要小于10um，如果是单层膜样品，没有基底，膜厚越厚越好，最好大于500um；膜层需为透明薄膜且膜层表面均匀，基底不需要透明。
椭偏仪的光谱范围在深紫外的142nm到红外33um可选。光谱范围选择应根据被测材料的属性、薄膜厚度及关心的光谱段等因素。
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