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刘老师：15363050875
简介：
聚焦离子束（FIB）先利用高强度离子束对材料进行纳米加工，再配合扫描电镜（SEM）等高倍数电子显微镜进行实时观察，成为了纳米级分析、制造的主要方法。
应用：
聚焦离子束系统除了具有电子成像功能外，由于离子具有较大的质量，经过加速聚焦后还可对材料和器件进行蚀刻、沉积、离子注入等加工以及集成电路线路修改。
可测试项目：
TEM制样、SEM剖面分析、三维原子探针制样、三维重构、微纳加工。
1、样品要求导电性良好，如果导电性比较差的话需要进行喷金或喷碳处理。
2、透射样品制备只保证切出的样品厚度可以拍透射。
首先看样品是否导电，如果导电性比较差，则样品需要进行喷金或喷碳处理；其次做FIB的目的，截面看TEM还是SEM，如果是看TEM还要注意做普通高分辨还是球差，普通高分辨的减薄厚度要比球差厚一些；应提供切割或取样位置。
可以，一般是滴在硅片上风干后再制样。
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