简介:当电流垂直于外磁场通过导体时,载流子发生偏转,垂直于电流和磁场的方向会产生一附加电场,从而在导体的两端产生电势差,这一现象就是霍尔效应。
利用霍尔效应可以测量半导体材料的导电特性,从而获得载流子浓度、迁移率、电阻率、霍尔系数、导电类型等重要参数。
应用:主要应用于材料导电特性和掺杂行为表征
材料导电类型判断(P型和N型)
精确测量载流子浓度、迁移率、电阻率、霍尔系数等重要参数
变温Hall测试
杂质激活能测量
范围:
温度测量范围: 80~573K
电阻率范围:10e-5~10e7Ω.cm
载流子浓度范围:10e7~10e21cm-3
迁移率范围:1~10e7 cm2/(V.s)