简介:拉曼光谱-扫描电镜联用系统(SEM-Raman)将拉曼光谱仪和扫描电镜整合在一起,对样品同一位置进行原位分子组成、形貌特征及元素组成的协同分析及成像。可同时获取样品表面形貌(二次电子像)、元素分布(EDS)和分子组成信息(Raman)并成图。
应用:广泛运用于地球及环境科学、宝玉石鉴定、材料科学、生命科学、医药科学、物证鉴定、技术监督等领域。可反映样品材料的表面形貌特征、元素组成、分子组成(官能团信息)、结晶度、以及应力、取向等信息
主要技术指标:
通过在SEM中内置100X物镜,以压电样品台(Piezo stage)精确控制镜头移动,可实现在电镜内部进行拉曼光谱信号采集。
SEM内拉曼扫描范围250 μm×250 μm×250 μm,移动精度2 nm。
共聚焦拉曼成像空间分辨率:XY方向优于450 nm(激光波长532 nm),Z方向优于1000 nm(激光波长532 nm)。
可对同一区域进行拉曼点分析,线扫描,2D、3D拉曼成图,扫描电镜二次电子成像、背散射电子成像、EDS点、线分析和元素成图,并将上述数据叠加呈现。